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型號(hào) GF125 / GF126， MFC，GF125 系列產(chǎn)品是多變量壓力變化補(bǔ)償型 (PTI) 金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表，有著快的響應(yīng)速度和高的純度。作為將 PTI 質(zhì)量流量控制技術(shù)引入市場(chǎng)的 GF125 系列產(chǎn)品降低了壓力和溫度波動(dòng)導(dǎo)致的過程氣體流量變化。一臺(tái)采用標(biāo)準(zhǔn) MultiFlo™ 技術(shù)的 MFC 即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。結(jié)果：降低了氣體顯示屏尺寸和成本，這得益于省去了壓力調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和相關(guān)硬件的使用并輔以 PTI 性能以提高產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。

特點(diǎn)

長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%ar
穩(wěn)定時(shí)間短：300 ms – <700 ms
滿量程流速達(dá) 300 slpm
高純度流路 – 4μ 英寸 Ra 表面處理
符合 SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn)的接液材料
采用 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器
可進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件不受壓差影響，并且測(cè)試表明產(chǎn)品經(jīng)七百萬次循環(huán)無故障
MultiFlo™ 技術(shù)靈活性 — 一臺(tái)設(shè)備經(jīng)編程設(shè)定后即可滿足數(shù)千種不同氣體和流量測(cè)量范圍配置的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題
DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口

優(yōu)勢(shì)

GF125 系列產(chǎn)品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器技術(shù)與能夠進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件相結(jié)合，可將響應(yīng)速度和穩(wěn)定速度較之其他質(zhì)量流量控制器提高 3 倍。
經(jīng)優(yōu)化的接液流路，可提升干燥效果
MultiFloTM 技術(shù)可實(shí)現(xiàn) MFC 流量測(cè)定量程的重新設(shè)定，通常是按 3:1 下調(diào)并且不影響精度，量程比或內(nèi)漏率
全面的氣體數(shù)據(jù)庫(kù)為您提供廣泛的氣體保護(hù)信息
壓力變化補(bǔ)償 (PTI) 功能能夠克服傳統(tǒng) MFC 的限制（受進(jìn)氣壓力波動(dòng)影響明顯）。產(chǎn)品效果表明其性能穩(wěn)定并且可達(dá)到預(yù)期精度。
便捷的用戶顯示屏和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)測(cè)和故障排除

關(guān)鍵應(yīng)用

半導(dǎo)體
MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）
要求使用高純度全金屬流路的氣體流量控制應(yīng)用

便捷的維護(hù)端口

輕松進(jìn)行診斷和故障排除
不影響工具通信

用戶界面

輕松安裝、啟動(dòng)和操作

機(jī)械耦合閥

耐腐蝕全金屬閥
采用無隔膜設(shè)計(jì)并且不受壓差影響
高速吹掃功能
測(cè)試表明產(chǎn)品經(jīng)四百萬次循環(huán)無故障

壓力傳感器

不受輸送壓力擾動(dòng)或波動(dòng)影響的穩(wěn)定流量控制

溫升傳感器

長(zhǎng)期穩(wěn)定性（<+0.5% F.S/年）
提高了信噪比
高速吹掃功能
可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體

溫度傳感器

可在全溫度范圍內(nèi)進(jìn)行準(zhǔn)確的流量和溫度測(cè)量
實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境溫度波動(dòng)，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的氣體化學(xué)控制

型號(hào)	GF125	GF126
區(qū)別	Ultra-High Purity Ultra-Fast Response Time Pressure Transient Insensitivity	High Flow Rate
流量范圍-滿量程容量	3 sccm – 55 slm	55 slm – 300 slm
表面拋光	4μ inch Ra	4μ inch Ra
精度	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%
重復(fù)性	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.
響應(yīng)時(shí)間-常閉	Normally Closed Valve 300ms (3-860 sccm N2 Eq.) 400ms (861-7200 sccm N2 Eq.) 500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.) <700ms (30001-55000 sccm N2 Eq.)	Normally Closed Valve <1 sec
響應(yīng)時(shí)間-常開	Normally Open Valve <1.5 sec	Normally Open Valve —
多氣體多量程	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard
瞬時(shí)壓力波動(dòng)不敏感	±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike	Ability to measure inlet pressure
診斷能力	Status Lights – MFC Health, Network Status Alarms – Control Valve Output, Network Interruption	Status Lights: MFC Health & Network Status Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
模擬通訊	0-5 Vdc	0-5 Vdc
數(shù)字通訊	RS485?L Protocol DeviceNet™	RS485?L Protocol DeviceNet™

環(huán)境與氣象儀器

潔凈室儀器

HVAC及工業(yè)儀表