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特點

• 可編程多氣體/多量程功能
• Brooks? MultiFlo™ 氣體數(shù)據(jù)庫包含數(shù)千種天然氣體測定結(jié)果，可用于建立修正函數(shù)
• 流量響應(yīng)時間不足 1 秒，精度可達目標(biāo)應(yīng)用設(shè)定值的 1%
• 非常適用于各種氣體
• 快速響應(yīng)，哈氏合金傳感器
• 擁有獨立于工具通信并可輕松接入的診斷服務(wù)端口
• 多協(xié)議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT?、Profibus? 和 RS-485 模擬接口

優(yōu)勢

• MultiFlo™ 技術(shù)能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設(shè)定新氣體和滿量程，從而延長運行時間
• MultiFlo™ 編程功能簡單、易用；60 s 內(nèi)即可完成新氣體的選擇操作
• 可大幅降低設(shè)備商和大型終端用戶的流量控制器庫存
• 得益于基于國際標(biāo)準(zhǔn)的高級計量系統(tǒng)和校準(zhǔn)技術(shù)，產(chǎn)品擁有出色的工藝氣體測量精度
• 耐腐蝕傳感器的穩(wěn)定性，可確保良率和產(chǎn)能Z大化
• 對用戶開放的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷操作
• 各種橡膠密封件為各種應(yīng)用提供了經(jīng)濟實惠的性能靈活性
• 多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)

應(yīng)用

• 太陽能電池化學(xué)氣相沉積
• 生命科學(xué)實驗室
• 真空處理
• 納米技術(shù)/MEMS 制造
• 等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統(tǒng)
• 非常適用于管匯系統(tǒng)/氣體輸送系統(tǒng)