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特點

• 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 0.2%
• 能夠根據(jù)命令變化迅速進(jìn)行流量響應(yīng)并且過沖/下沖可忽略不計
• 流量范圍寬 – 從3 sccm 一直到1000 slpm
• 耐高壓等級 – 達(dá) 1,500 psi
• 可拆卸式流量傳感器
• 不受安裝角度影響
• 能和其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)械和電氣設(shè)計方面兼容
• 電驅(qū)動閥*調(diào)
• 耐化學(xué)腐蝕閥門