型號(hào) 9861,布魯克斯儀器 9861 系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計(jì),該產(chǎn)品采用高純度、無(wú)泄漏一體化金屬流路,可確保兼容過(guò)程氣體和蒸汽。 IsoSensor™ 是一種穩(wěn)定性高的流量傳感器,可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的低漂移性能可使高溫應(yīng)用無(wú)需頻繁重新調(diào)零和重新校準(zhǔn)。
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9861 |
| 流量范圍-滿量程容量 |
3 sccm –?10 slm (N2?equivalent) |
| 表面拋光 |
4μ inch Ra |
| 精度 |
±1% SP?@ 35 – 100% FS
±0.35% FS @ <35% FS |
| 重復(fù)性 |
< ±0.15% FS |
| 響應(yīng)時(shí)間-常閉 |
≤?1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) |
| 模擬通訊 |
0-5 Vdc |
| 數(shù)字通訊 |
RS485L Protocol |
特點(diǎn)
- 穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測(cè)量傳感器
- 高純度流路
- 遠(yuǎn)程控制電子元件(標(biāo)配兩個(gè)模擬電子連接器)
- 數(shù)字測(cè)量和控制架構(gòu)
優(yōu)勢(shì)
- 傳感器穩(wěn)定性高,可保障長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間、減少維護(hù)工作并降低總體擁有成本
- 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
- 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器,可實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并減少庫(kù)存
- 強(qiáng)化準(zhǔn)確性和過(guò)程控制
應(yīng)用
- 光纖制造 – MCVD
- 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝