型號 5850EMH / 5851EMH高溫應用中高純表現(xiàn)，Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制，具有多種選擇，允許Z大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。
| 型號 | 5850EMH | 5851EMH |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm –?30 slm (N2?equivalent) | 10?–?100 slm (N2?equivalent) |
| 精度 | ±1%?FS | ±1%?FS |
| 重復性 | < ±0.25% of SP | < ±0.25% SP |
| 響應時間-常閉 | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) |
| 模擬通訊 | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc |
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